搜索到 篇“ 三维微力传感器 “的相关文章

相关作者

孙立宁
作品数：1,712被引量：4,157H指数：28
供职机构：苏州大学
研究主题：机器人 压电陶瓷 并联机器人 柔性铰链 微操作
荣伟彬
作品数：302被引量：696H指数：14
供职机构：哈尔滨工业大学
研究主题：激光陀螺 微操作 压电陶瓷 微操作机器人 柔性铰链
王伟忠
作品数：19被引量：5H指数：1
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 压敏电阻 探针 高过载 硅基底
王家畴
作品数：78被引量：77H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅片 单晶硅 衬底 热电堆 热偶
赵玉龙
作品数：593被引量：384H指数：11
供职机构：西安交通大学
研究主题：传感器芯片 MEMS 传感器 硅 芯片